技术编号:23840035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种金刚石基欧姆接触结构,特别涉及金刚石材料欧姆接触电极,属于半导体材料与器件技术领域。背景技术金刚石基材料作为第四代宽禁带半导体材料,拥有超宽的禁带宽度,高载流子迁移率,高热导率,高击穿场强和高抗辐射能力等特点,以上的材料特性使其成为制备超大功率和超高频电子器件的理想材料。金刚石薄膜在电子学方面的应用必然会涉及到金属的电极问题,欧姆接触作为金刚石基电子器件制备过程中的关键工艺,对器件的电流密度、工作温度、高功率性能等参数有着关键作用,直接决定了器件在高温、...
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