技术编号:2384625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空吸附微操作工具。背景技术微操作工具是微机电系统的基础,随着微机电系统的发展,特征尺寸在0.Ιμπι-lOmm,面积在10mm2-20mm2的微部件装配成为关键的操作任务。轻、小、薄、脆是微操作对象的特点,静电力、范德华力和表面张力等表面力相对于重力起主导作用。目前这类微操作工具多采用真空吸附和机械夹钳 两种方式,机械夹钳辅助于不同的驱动方式(压电驱动、静电驱动、电热驱动、电磁驱动等)实现对微操作对象的拾取、转移和释放。微机械构件薄且脆,为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。