技术编号:23848026
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及半导体激光器技术领域,尤其涉及一种高对比度光栅垂直腔面发射激光器及其制备方法。背景技术随着激光发射模组的研究深入以及应用需求的拓展,三维成像引起广泛了关注。在光学三维成像系统中,核心部件为激光发射模组,目前业内主要采用垂直腔面激光发射器(vertical-cavity surface-emitting laser,vcsels),其主要用于向目标空间投射调制光,通过接收相机获取调制光的信息并对其特性进行分析,最终形成有效的深度信息图。在垂直腔面发...
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