技术编号：23898852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备技术领域本实用新型涉及硅片干燥设备技术领域，具体涉及一种sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备。背景技术在硅片的生产加工过程中，需要对硅片进行干燥，现有技术中的硅片干燥机大多使用热风干处理，由于硅片存在细小划痕、凹痕，会产生残留液体，及待干燥的硅片表面残留的液体水膜表面张力较大，上述现有技术中的硅片干燥机对硅片的干燥效率低。现有技术中还有利用超声波信号除杂，但是超声波通常需要在液体环境中应用，在对硅片干燥时难以应用，因此需要一...
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