技术编号:24057840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及用于光声气体传感器的检测器单元、光声气体传感器以及用于制造检测器单元和光声气体传感器的方法。本公开还涉及晶片级接合的光声检测器单元。背景技术光声气体传感器可以用于测量环境条件,例如,流体(尤其是气体)的部分。存在对于具有高耐用性且在寿命期间稳健的检测器单元和对具有高耐用性且在寿命期间稳健的光声气体传感器的需要。还存在对于用于制造检测器单元和光声气体传感器的方法的需要。发明内容实施例提供一种用于光声气体传感器的检测器单元。该检测器单元包括第...
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