技术编号:24061054
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种由能量束固化树脂形成树脂层的成膜装置及成膜方法。背景技术在对紫外线固化树脂等能量束固化树脂进行固化而在基板上形成树脂层时,典型地进行以下两个工序。即,由冷却工作台支承基板,向支承在冷却工作台的基板上供给包含该树脂的原料气体的工序,以及向基板上照射紫外线等的光,在基板上形成固化的树脂层的工序。特别是最近,提供了一种成膜装置,其并非在不同的真空腔室分别进行这样的多个工序,而是在一个真空腔室进行向基板上供给原料气体的工序和通过紫外线在基板上形成固化的树...
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