技术编号：2411097
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于在各种环境中测量及减少颗粒呼出及污染的装置及方 法的领域，本发明在无尘室中特别有用。背景技术无尘室(deanroom)为受到管控的产物制造环境。其为将空中传 播的颗粒浓度控制在特定限值的空间。清除次微米级空中传播污染实 际上为一种控制过程。此等污染物由人、制程、设施及装备产生。必 须持续地将其从空气中移除。此等颗粒必须被移除的程度依所要求的 标准而定。最常使用的标准为联邦标准(Federal Standard)20犯。该209E 为针对无尘室及无...
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