技术编号：24158110
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开实施例涉及一种微机电系统梳状致动器及形成梳状结构的方法。背景技术微机电系统(microelectromechanical system，mems)装置在现代装置(例如，智能扬声器、助听器及照相装置)中正变得越来越普遍。许多mems装置可分为传感器或致动器(actuator)。mems传感器感测外部条件(例如，声波、光、磁信号)的存在并将其转换成电信号(例如，电压、电流)以进行处理。mems致动器利用电信号(例如，电压、电流)来产生外部条件(例如，声波、光、磁信号)。...
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