技术编号：2419023
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于微影系统的透镜，特别涉及适用于液体浸润式微影制程的接物透镜。背景技术半导体积集电路产业历经了快速的成长。由于积集电路在材料与设计上的进步，已经创造出了许多不同代的积集电路，而且每一个代都比先前代具有更复杂的电路。然而这些进步也增加了积集电路制造与制程的复杂性，同样地，积集电路的制造与制程需要有相同程度的发展以实现以上所述的进步。半导体积集电路产业的成长由摩尔定律所驱动，内容提到「最小组件的复杂度每年以大约2的比率增加」。在此一积集电路的演...
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