技术编号:242118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型公开了一种氮化硅研磨装置,该氮化硅研磨装置包括动力元件、研磨元件和收集器,其中,动力元件输出旋转运动,研磨元件与动力元件的输出端连接,收集器用于盛放待研磨氮化硅,研磨元件的研磨面朝向收集器;在氮化硅研磨时,启动动力元件并驱动研磨元件随动力元件的输出端转动,从而实现收集器内的氮化硅的研磨;这样,通过机械设备实现氮化硅的研磨,从而提高了研磨效率和研磨均匀性,并且降低了操作人员的劳动强度,保证了员工的身体健康。专利说明一种氮化娃研磨装置技术领域[0001]本实用新型涉及硅锭制备辅助设备技术领域,特别涉及...
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