技术编号:2422420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于压力传感器的,具体涉及一种。背景技术目前,国际范围内MEMS结构的压力传感器在超过400 V以上环境下进行稳定测量尚有难度。在高温环境冲击使得压力敏感结构失效或温度噪声造成压力信号不可传输。对于一些常见的压阻式压力传感器,由于需要对电桥供电和电压检测,连接电桥及检测电路的电引线在高温环境下的稳定性难以保证。一方面,当环境温度超过400 1时,由于金属和半导体的互扩散作用,引线和压敏电阻的欧姆接触会发生不可逆变化;另一方面,由于高温杂质扩散作用,压...
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