技术编号:24241560
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子设备测试技术领域,尤其涉及一种纳米涂层探针及其制备方法。背景技术在电子设备集成电路的测试领域,广泛使用接触测试式探针。现有的探针一般采用铼钨、钨钢、琴钢等材料,其中钨钢为最硬最耐磨的材料,其使用寿命通常可以达到100万次,其他材料制成的探针寿命一般为40~80万次。由于探针在使用过程中需要不断与测试板接触,对探针本身造成很大磨损,所以当探针达到一定的磨损程度后,就需要更换探针。另外地,一般会在探针外表面镀镍或者镀金,由于镍和金的材料均比较容易磨损,不利于提高探针的使用寿命。因此在测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。