技术编号:24398211
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于化学品升华器的填充容器和连接器.通过引用任何优先权申请并入.根据cfr .,其中外国或本国优先权要求在与本申请一起提交的申请数据表中被识别出的任何和所有申请特此以引用的方式并入本文中。背景技术.典型的固体或液体源反应物输送系统包含固体或液体源容器和加热器。容器可以包含待汽化的化学反应物。运载气体行进通过容器中的路径,且携载汽化和/或升华的化学反应物通过容器出口且最终到基板反应室。技术领域.本申请一般涉及牵涉半导体处理设备的系统和方法,并且具体涉及用于化学蒸汽输送的汽化系统。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。