技术编号：2440234
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有硬质涂层的部件(硬质表面部件)，比如机器的滑移件和切削工具。背景技术非晶质碳膜被称为硬质涂层。非晶质碳具有介于彼此混合在一起的金刚石和石墨碳之间的中间结构，并且可以被称作硬质非晶质碳、无定型碳、硬质无定型碳、i-碳或类金刚石碳(DLC)。由于非晶质碳(下文中，有时被称作DLC)具有如金刚石那样的高硬度，并且具有优异的耐磨性、固体润滑能力，热传导性和化学稳定性，因此，它被用于各种元件比如滑移件、模具、切削工具、耐磨损机器零件、磨料以及磁/光...
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