技术编号：2442646
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。技术背景软光刻是用于微制造技术以产生微结构的通用构图(图案形成)技 术。该技术采用带有图案的弹性体，以从原版向基底转印图案。带有图 案的弹性体可以用作例如印模以转印物质、或者作为将由物质填充的模 具、或者作为用于在基底上选择性沉积和/或从基底上选择性除去材料的 掩膜。例如参见Xia，Y.以及Whitesides， G.M.Annu.Rev. Mater.Sci. (1998)28 153 — 184。相反，传统的光刻技术采用刚性光掩膜以对...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。