技术编号：24549029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英音叉制备技术领域，尤其涉及一种用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法。背景技术石英音叉陀螺作为一种微机械陀螺，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、抗环境干扰能力强等优点，其性能能够满足稳定、制导与控制等大量战术武器的要求，也能广泛用于汽车电子、机械仪表等多种民用领域。石英音叉作为石英陀螺的敏感元件，一般采用h型音叉，如图8所示，其加工制作的技术水平直接影响石英音叉陀螺的性能指标。石英音叉的微加工工艺流程主要包括基片清洗、掩膜沉积、光刻图形化(结构光刻、减薄光刻、电镀光刻和电...
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