一种双面微透镜阵列及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:24636957

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本发明涉及微光学技术领域,具体涉及一种双面微透镜阵列及其制备方法。背景技术光刻,指的是利用光照在光刻胶上形成特定形状并将形状转移到玻璃或半导体等其他材料上的一种技术。微透镜镜片薄,可复制,价格低,可以微型化和阵列化,并且可以同微电子器件一起集成化,提供微光电一体的集成器件,在光通讯,光存储,光互连与光交换,光学信息处理和微光学传感器方面有着广泛的应用,配合机器视觉和激光器等部件可以实现各种功能。现有微光学阵列大都是单侧微透镜,在需要大数值孔径的系统中,单侧微透镜是无法满足要求的,而现有制备双面微...
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