技术编号：24644374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电子芯片，更具体而言，涉及包括波导芯(waveguide core)的结构以及制造包括波导芯的结构的方法。背景技术.光电子芯片用于许多应用和系统，包括但不限于数据通信系统和数据计算系统。光电子芯片将光学组件(例如波导芯和弯管)和电子组件(例如场效应晶体管)集成到统一的平台中。除其他因素外，通过将这两种类型的组件集成到统一平台中，可降低布局面积、成本和操作开销。.某些光电子芯片可以包括具有波导芯的光学组件，其水平布置在包含该电子组件的水平上方。这些波导芯可在形成电子组件后的工艺...
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