技术编号:24659289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于集成光子系统控制领域,更具体地,涉及一种实现不同类型集成光子系统闭环控制的系统。背景技术.随着半导体工艺节点逐渐逼近物理尺寸极限,摩尔定律即将走向尽头。集成光子作为后摩尔时代的一个潜在发展路径,受到了广泛的研究与关注。对于单纯的片上集成有源光器件或系统而言,由于温度等环境因素扰动或自身结构、架构方面的限制,往往无法直接工作在最佳工作点处或实现完整的功能,因此通常需要控制电路进行辅助或控制。例如对于硅基马赫曾德尔调制器而言,需要偏压控制电路对其静态工作点进行控制从而补偿工艺偏差以及...
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