技术编号:24726988
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。金属囊封光电阴极电子发射器.相关申请案的交叉参考.本申请案主张年月日申请且指派为第/,号美国申请案的临时专利申请案的优先权,所述申请案的公开内容特此以引用的方式并入。技术领域.本公开涉及用于电子发射器的保护膜。背景技术.半导体制造行业的演进对良率管理及特定来说计量及检验系统提出更高要求。临界尺寸不断缩小,而行业需要减少实现高良率、高价值生产的时间。最小化从检测到良率问题到解决所述问题的总时间决定了半导体制造商的投资回报率。.制造例如逻辑及存储器装置的半导体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。