技术编号：24728436
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及表面发射激光器元件及其制造方法。背景技术.近年来，使用光子晶体的表面发射激光器的开发已经取得进展。例如，专利文献公开了目的是在不进行熔融处理的情况下执行制造的半导体激光器件。.另外，专利文献公开了将光子晶体的微结构制造成gan基半导体的制造方法。非专利文献公开了减压生长使横向生长的速度增加以制造光子晶体。.非专利文献公开了光子晶体激光器的面内衍射效应和阈值增益差。非专利文献公开了方形晶格光子晶体激光器的三维耦合波模型。.现有技术文献.专利文献.专利文献：日本...
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