基板层压装置和方法技术资料下载

技术编号:2474383

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本发明涉及一种,其通过使用粘合剂将上下基板面对面相互进行粘合。现在将描述一种传统公知的用于该过程的层压方法和装置。附图说明图1到图4为表示传统层压方法的示意图。首先,如图1所示,上玻璃基板3和下玻璃基板4被分别进给上挟持头1和下挟持头2。上玻璃基板3和下玻璃基板4被挟持。上挟持头1可以沿X-Y-θ方向以及上下方向移动。上挟持头1和下挟持头2完全置于一个带有驱动单元的真空容器中。此时,设定大气压力。这样,当上玻璃基板3和下玻璃基板4被分别进给至上挟持头1和下...
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