技术编号：24755091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及晶圆生产设备领域，特别涉及一种碳化硅晶圆无尘存放装置。背景技术.在晶圆的生产过程中，不可避免地需要将晶圆进行存放，通常的做法为直接将晶圆防止在存放架上，存放架裸露在空气中，容易导致晶圆表面积累灰尘，影响后续的生产。实用新型内容.本实用新型要解决的技术问题是提供一种可对晶圆进行除尘输送、无尘存放的碳化硅晶圆无尘存放装置。.为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：.一种碳化硅晶圆无尘存放装置，包括第一输送带及存放室，所述第一输送带的上方设有毛刷辊及吹气管，所述存放室内...
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