技术编号：2475592
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功能信息材料与器件领域，具体涉及锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)厚膜材料的制备方法。背景技术铁电厚膜材料(1-5μm)制成的器件由于具有工作电压低，使用频率高，能与现有半导体电路集成等优点，因而广泛应用于光波导器件，微电子机械系统(MEMS)器件、微型马达等功能信息器件领域。但在厚膜材料的制备过程中，随薄膜厚度的增加，材料内部应力增大，厚膜材料很容易开裂。有关制备无裂纹厚膜材料的文献报道很多，归纳下来主要有以下三类1.丝网印刷、烧结法，该...
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