液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法技术资料下载

技术编号:2477313

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本发明涉及使用压电元件将液滴喷出到对象物的液滴喷出装置及方法、和使用这种液滴喷出装置和方法的制膜装置和方法、器件的制造方法和电子设备。背景技术在特开平7-304168号公报中公开了作为液滴喷出装置的一个应用例的墨水喷射装置。该墨水喷射装置通过将驱动电路(IC芯片)的工作热量传递到喷墨头(记录头),将墨水的温度调到合适的温度,从而使喷出特性稳定。即,该现有技术将通过驱动电路的工作产生的热传递到喷墨头而加热墨水,并通过喷出处于该加热状态的墨水,而无须特别设置散...
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