一种蓝宝石衬底的分布式激光打标的制作方法技术资料下载

技术编号:2477830

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本发明涉及一种蓝宝石衬底加工过程中的激光打标技术,属于LED衬底加工领域。背景技术 蓝宝石衬底是由高纯氧化铝单晶晶棒经过切片、研磨、倒角、抛光、打标和清洗检测等工艺制作而成,是当今制作蓝绿光LED的主要衬底材料。目前最先进的蓝宝石衬底的打标模式是激光打标。激光打标技术是指将高能量密度的激光光束在计算机的控制下对产品进行局部照射,使产品表面瞬间熔化或汽化,从而留下永久性标记的一种打标方法。激光打标具有刻印的内容广、效率高、刻印清晰、洁净等优点,但激光作...
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