技术编号：2478206
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及由铁电膜形成且用于构成压电元件的压电层的形成方法、压电层及压电元件，还涉及在对由压电层构成的铁电前驱体膜进行脱脂时所使用的加热装置。背景技术具有由铁电膜形成的压电层的压电元件，由于具有自发极化、高介电常数、电光效应、压电效应、热电效应等，因此被应用于广泛的设备中，例如喷墨式记录头等。构成这种压电元件的铁电膜(压电层)例如通过溶胶-凝胶法来形成。即，在规定的衬底上，例如通过涂布有机金属化合物的溶胶来形成铁电前驱体膜，并将所述铁电前驱体膜加热到预定温...
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