技术编号：2479612
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及成像系统。本发明的特定实施例提供用于成像系统中的光阀。背景技术显示器、聚合物基半导体装置以及其他半导体装置的制造方法通常涉及相当大量的成像步骤。在传统的光刻成像方法中，每个成像步骤包括用抗蚀剂(或其他感光材料)涂覆基板；通过光工具掩模曝光被涂覆的基板，使抗蚀剂中发生相应的改变；使已曝光材料经历显影处理。通常，每个成像步骤都伴随有有限的失败风险。对于包括若干成像步骤的制造方法，失败的风险被组合，从而会降低总生产率并增加产品的成本。用于平板显示器(例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。