技术编号：2481772
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及致动器，具体而言涉及用于液滴沉积装置的致动器。技术背景液滴沉积装置或喷墨打印头能将小的流体液滴布置到基板上。该装 置(以下将称为喷墨打印头，尽管该装置还能喷射除墨水之外的多种流 体)从与喷射腔室连通的喷嘴将所述流体压出。与喷射腔室对应的致动 器施加喷射所述流体的力。这些致动器采取多种不同的形式，但往往属 于两类中的一类。两类中第一类是机械式的，其中电脉冲使致动器变形， 第一类例如包括诸如静电、热弯曲或压电的技术。第二类为热致动器或 气泡致动器，其...
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