技术编号:2485006
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种传动机构,尤其涉及一种微位移放大装置。 背景技术在微纳米技术的研究工作中,微纳米级控制及定位是微纳米技术的核心之一,为微纳米技术在各个领域的应用提供技术基础,被认为是21世纪的核心技 术。在微机电系统(MEMS )领域,微纳米技术涉及到微驱动、微定位、微加工、 微装配等不同研究方向。由于目前现有的传统的位移;故大方式,如齿轮或杠杆 等;^文大机构,运动与力传递环节多、累积误差大、可靠性性差、非线性误差大、 精确度低,直接影响输出位移分辨率...
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