技术编号：2485971
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种用于在衬底上有效率地沉积膜图案的方法和设备。更具体而言，本公开涉及在可以形成LED或者其他类型显示器的一部分的衬底上沉积膜的方法和设备。背景技术制造有机发光器件(OLED)需要在衬底上沉积一个或多个有机膜，并且将膜叠堆的顶部和底部耦合到电极。膜厚度是主要的考虑因素。总的层叠堆厚度为约lOOnm，并且每层以优于+/_111111的精确度来进行最佳地均匀沉积。膜纯度同样重要。传统设备使用以下两种方法中的一种来形成膜叠堆(l)在相对真空的环境下进行...
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