一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法与流程技术资料下载

技术编号:24889527

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基于流体力学,雷诺数和bernoulli原理,本发明在化学蚀刻领域提供一种能蚀刻微孔和细线路板的向量乱流化学蚀刻方法,简称向流法。背景技术向流法的重点是向量和乱流,二者缺一不可;向量是指蚀刻液在整个蚀刻过程中都处于方向性压力之下,蚀刻液的流向和行进中的目标线路板成一个角度而不是和目标线路板平行;向量可解析成水平和向下的分向量或分压,水平方向的压力使流液前进,向下的压力则使得乱流主要是涡流,进入微孔和细线路;涡流是多方向、不定形的动能流体,具有扩散性,在压力下会变形而能进入微孔并替换微孔中的积液。...
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