图案形成方法和图案形成装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2491250

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本发明涉及从相对于基板表面移动的喷嘴涂敷含有图案形成材料的涂敷液,从而在基板上形成规定的图案的图案形成技术。背景技术作为在基板上形成规定的图案的技术,具有从相对于基板表面移动的喷嘴喷出含有用于形成图案的材料的涂敷液来涂敷在基板上的技术。在该技术中,因为在刚开始喷出涂敷液后和喷出即将结束前,涂敷液的喷出量发生变动,所以存在涂敷量在图案的起始端和/或末端不稳定的问题。作为解决该问题的技术为例如在专利文献1中记载的技术。在该技术中,在通过从狭槽式的涂敷头向涂敷对...
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