用于微滴沉积装置的喷嘴板的制作方法技术资料下载

技术编号:2494020

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本发明涉及用于微滴沉积装置的喷嘴板。喷嘴板通常安装在具有多个喷墨腔的微滴沉积装置的主体上,以便为各腔提供相应的微滴喷嘴。由于必须以高精度在喷嘴板中形成喷嘴以例如保证从喷射腔中喷出的微滴的尺寸和速度的一致性,因此通常采用激光烧蚀来在喷嘴板中形成喷嘴。通常采用塑料如聚酰亚胺、聚砜或其它这类可激光烧蚀的塑料来形成喷嘴板,在将墨水排斥层涂覆到喷嘴板的一个表面上之后,通过将喷嘴板暴露于适当直径的激光束如准分子激光束下来形成各个喷嘴。接着将带有所完成的喷嘴的喷嘴板粘结...
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