技术编号：2495819
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及负型感光性树脂组合物。更具体地，本发明涉及可用于液体排出头的生产的负型感光性树脂组合物，所述液体排出头 在用于产生液滴如墨滴的液体排出记录方法中使用。另外，本发明涉及使用所述负型感光性树脂组合物的图案形成方法、液体排出头、和液体排出头生产方法。背景技术作为微细加工技术，已知通过进行负型感光性树脂组合物的曝光和显影而形成图案或结构体的光刻技木。所述技术已经广泛用于生产半导体集成电路、半导体曝光用掩模和各种微电子机械系统(MEMS)等。作为用于MEM...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。