技术编号：2495912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用感光性树脂生产精细图案的方法。背景技术近来，随着科学形成和技术的发展，存在对于各种领域中的微细结构体形成技术的日益增长的需求。在微致动器、电子器件和光学器件等领域中进行了广泛研究。例如，在各种小型传感器、微探针、薄膜磁头和喷墨头中进行该研究。此类微细结构体的生产方法包括冲压、干法蚀刻和光刻。这些中，通过使用感光性树脂的光刻形成图案的方法可在高精度下容易地形成具有高的长宽比(aspect ratio)的良好形状。日本专利公开H06_45242(...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。