技术编号：2498357
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用可致动装置将集成电路电连接至管芯。技术背景微型机电系统或MEMS-基装置可以用在多种应用中，如加速器、陀螺仪、压力传感 器或换能器、显示器、光开关和流体喷射。典型地，一个或多个单独的装置形成在单个管芯 上，如形成在由绝缘材料或半导体材料形成的管芯上，所述管芯可以采用诸如光刻、沉积或 刻蚀之类的半导体处理技术处理。一种常规类型的流体喷射模块包括具有用于喷射流体的多个流体喷射装置的管 芯和用于将信号传递至管芯的柔性印制电路(“柔性电路”)。管芯包...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。