一种大幅面快速激光标刻系统的制作方法技术资料下载

技术编号:2500822

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本实用新型涉及了一种激光标刻系统,具体的说是一种大幅面快速激光标刻系统,包括激光器(1)、扩束镜(2)、分光装置(3)、振镜扫描系统一(4)、振镜扫描系统二(5)、聚焦场镜一(6)、聚焦场镜二(7),扩束镜(2)后设置有分光装置(3),分光装置(3)后设置振镜扫描系统一(4)与振镜扫描系统二(5),振镜扫描系统一(4)后设置聚焦场镜一(6),振镜扫描系统二(5)后设置聚焦场镜二(7)。分光装置(3)可将扩束镜(2)的来光分成两束光,两束光分别进入振镜扫描系...
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