技术编号：2510563
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成图案用的模子、图案形成方法以及图案形成设备。更具体地，本发明涉及模子与基板的对准技术。背景技术近年来，用于将模子上的微小图案结构转印到如树脂或金属这样的部件上的精细加工技术得到了发展。这种技术被称为毫微压印或毫微压花，并且被期望来实现纳米等级的分辨率，从而其作为下一代半导体制作技术取代如分档器(stepper)或扫描器等曝光设备而倍受关注。另外，根据该毫微压印技术，空间结构能够作为整体形成在晶片上，尽管其基于晶片尺寸而有所变化。这样，期待将毫...
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