技术编号：2512000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。监测衬底中的槽形成必月-景技术诸如喷墨打印头的流体喷射装置往往包括采用光刻法等半导体加 工方法(例如)形成于由硅等构成的晶片上的管芯。管芯通常包括用于 从所述管芯喷射诸如标记流体、药物、药品、燃料、粘合剂等的流体的流体覆盖所述电阻器或压电元件的流体进料槽(或沟道)。向所述电阻 器或压电元件发送电信号，从而使其通电。通电的电阻器迅速加热覆盖 其的流体，从而引起流体蒸发，并使流体通过与所述电阻器对准的孔口 喷射。带电压电元件膨胀，从而迫使覆盖其的流体通过所述孔...
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