技术编号:2514420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种,包括基板表面形成弹性膜;所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙;通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽;其中,所述弹性膜悬设在所述凹槽上,所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。本发明技术方案,通过在基板上的弹性膜上开设缝隙,通过缝隙将基板蚀刻出凹槽,弹性膜悬设在所述凹槽上,本发明先形成弹性膜,不需要通过树脂填充压力室,也不需要高温煅烧,因而能够保证弹性膜的加工精度,不会产生弯曲变形,能够提高产品质量。专利说明 [0001]本发明涉及打...
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