技术编号：2514537
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置，该基板制造方法不易在薄膜的表面产生阶梯差。本发明的基板制造方法，使从多个喷嘴孔吐出薄膜材料的液滴的喷嘴单元对置于基板，使喷嘴单元相对于基板相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于基板，从而在基板的表面形成沿应形成的多个图案的边缘的多个边缘图案。使喷嘴单元相对于基板向第1方向相对移动的同时使薄膜材料的液滴着落于被边缘图案包围的实地区域，从而在实地区域形成薄膜。在实地区域形成薄膜的工序中，以在使喷嘴单元相对于基板朝一个方向...
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