技术编号:2514908
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备,其中方法包括在基底的第一表面上形成压力致动部件;在所述基底上与所述第一表面相对的第二表面蚀刻形成凹槽;在所述凹槽中填充第一光刻胶形成牺牲层,所述牺牲层的表面与所述基底的第二表面齐平;在所述基底的第二表面和牺牲层的表面上形成喷孔板;采用第一显影液对牺牲层进行显影处理,以去除所述牺牲层,形成压力腔室。本发明提供的液体喷射头的制造方法、液体喷射头和打印设备,能够解决现有的液体喷射头制造工艺较复杂,且采用粘...
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