微细结构体的制造方法、液体喷出头的制造方法和液体喷出头的制作方法技术资料下载

技术编号:2516138

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本发明涉及在喷墨记录方式中使用的用于发生记录液体小滴的液体喷出头的制造方法和利用该方法得到的液体喷出头。具体而言,本发明涉及一种可以稳定地喷出能形成高画质的微小液滴,具有可实现更高速记录的油墨流路形状的液体喷出头和生产该喷出头的方法。进而,本发明还涉及一种基于上述喷墨头的制造方法制造的、改善了油墨喷出特性的喷墨头。准备与上述制法同样形成的元件基板,在涂布有粘合层的树脂薄膜(通常使用聚酰亚胺)上利用准分子激光加工油墨流路和油墨喷出孔,然后热压加工成的液体流路...
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