干燥装置和干燥处理方法技术资料下载

技术编号:2518569

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本发明的在短时间内高效率地去除在对基板上的有机材料膜进行干燥的干燥装置的处理容器内残留的溶剂。干燥装置(100)具备能够进行抽真空的处理容器(1)、在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、向处理容器(1)的内部照射紫外线的紫外线照射装置(5)以及控制部(6)。紫外线照射装置(5)作为溶剂分解单元而发挥功能,其在从处理容器(1)搬出已完成干燥处理的基板(S)之后,将残留在处理容器(1)内的溶剂中包含的有机化合物分解为低分子量的化合物。专...
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