技术编号：25234320
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于气体分析领域，具体而言，涉及一种用分析高纯乙硅烷中的杂质含量的方法。背景技术乙硅烷作为电子行业的重要基础原材料，电子器件的成品率、质量的优劣很大程度上取决于其纯度，气体纯度一般要求为4.8n以上，这时要求对电子气中杂质分析的灵敏度将是ppb级。高灵敏度分析仪器和分析方法是检测杂质的重要手段，在国内的文献尚未有公开有关于乙硅烷完整分析方法的报道，现有国家标准中有关乙硅烷的分析更是空白。随着电子工业的发展，对乙硅烷的需求量越来越高。因此，亟需能够快且全面地分析乙硅烷中的杂质的系统和方法。发...
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