技术编号:25330182
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及声波技术领域,尤其涉及一种薄膜体声波谐振器。背景技术.随着薄膜与微纳制造技术的发展,电子器件正向微型化、高密集复用、高频率和低功耗的方向迅速发展。近年来发展起来的薄膜体声波谐振器(fbar:film bulk acoustic resonator)采用一种先进的谐振技术,通过压电薄膜的逆压电效应将电能转换成声波而形成谐振。.申请号为cn.的专利公开了一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块,其中一种薄膜体声波谐振器包括衬底层()和制备于...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。