技术编号:25394773
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。新型mems芯片结构和电子设备技术领域.本实用新型涉及芯片结构技术领域,特别涉及一种新型mems芯片结构和应用该新型mems芯片结构的电子设备。背景技术.目前惯性传感器作为电子穿戴的标配,被广泛应用于麦克风的入耳检测、触控操作以及手势识别等方面。然而,mems麦克风和mems惯性传感器芯片一般是分立设置的,也即两种器件经过不同的材料和制造工艺加工,再分别以两个独立的单体形式封装到pcb板上,从而增加了制作成本与封装空间,且为后续电路设计带来了困难。实用新型内容.本实用新型的主要目的是提供一...
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