具有电荷注入控制的电压偏置的拉动模拟干涉调制器的制造方法技术资料下载

技术编号:2546111

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本发明提供用于驱动三端子机电系统EMS装置的系统、方法和设备。本发明中描述的驱动系统和方法包含开关电容器电荷注入电路(1530),其经配置以隔离单个EMS装置,并且将期望量的电荷转移到隔离的装置,使得所述装置能被激活以产生期望的光学效应、电效应或机械效应。所述电荷注入电路包含运算放大器(1315),并且被连接,以便将所述EMS装置放置在所述运算放大器(1315)的反馈路径中。专利说明具有电荷注入控制的电压偏置的拉动模拟干涉调制器 [0001] 本发明...
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