衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法技术资料下载

技术编号:2548191

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本发明提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元,其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底,激光照射单元将激光照射至衬底组件,检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息,确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。专利说明 [0001]本发明涉及衬底分尚方法、衬底分尚设备及使用该衬底分尚方...
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